Технические характеристики
Титановая круглая мишень – это плоская-мишень в форме диска из титана, обычно используемая в таких приложениях, как напыление, нанесение покрытий или процессы осаждения материалов. Круглая форма обеспечивает равномерное распределение материала при использовании в таких процессах, как осаждение тонких-пленок или ионная имплантация.
Титановая круглая мишень — это исходный материал из титана-формы в форме диска,-высокой чистоты, предназначенный для использования в системах физического осаждения из паровой фазы (PVD), особенно в процессах магнетронного распыления. Его круговая геометрия позволяет устанавливать его в стандартные плоские распылительные катоды, где он бомбардируется ионами для вытеснения атомов титана, которые впоследствии осаждаются в виде тонкой пленки на подложках.
1.Материал:
Обычно изготавливаются из титана высокой-чистоты (Ti) или титановых сплавов, таких как Ti-6Al-4V, которые обеспечивают превосходную прочность, низкую плотность и высокую коррозионную стойкость.
Чистота может варьироваться в зависимости от конкретного применения: титан с чистотой 99,9 % часто используется для обеспечения высоких-требований к производительности.
2. Форма:
Круглый: плоский круглый диск одинакового диаметра.
Диаметр: Обычные размеры варьируются от 50 до 300 мм (от 2 до 12 дюймов) или больше, в зависимости от потребностей применения.
Толщина: Толщина диска обычно составляет от 2 до 10 мм, хотя она может варьироваться в зависимости от требований системы напыления или осаждения.
3. Отделка поверхности:
Поверхность может быть отполирована или придана шероховатость в зависимости от желаемого результата процесса напыления или осаждения.
Гладкая поверхность обычно предпочтительна для равномерного нанесения, тогда как шероховатая поверхность может использоваться для получения определенного эффекта покрытия.
4.Свойства:
Высокая коррозионная стойкость к агрессивным химикатам, особенно в таких отраслях, как аэрокосмическая или морская промышленность.
Высокая температура плавления (около 1668 градусов или 3034 градусов по Фаренгейту), что делает его идеальным для высоко-температурных процессов.
Легкий и прочный, он идеально подходит для нанесения тонких-пленок, где требуется высокая степень точности.
5. Чистота
Титановые мишени высокой-чистоты (чистота более 99,9 %) часто используются в процессах распыления для нанесения тонких пленок на подложки в производстве полупроводников, оптике и других прецизионных отраслях промышленности.
Титановые мишени более низкой чистоты могут использоваться в других процессах, таких как дуговое осаждение или для нанесения покрытий общего назначения в различных промышленных целях.
Приложение
Полупроводники и микроэлектроника:
Диффузионные барьеры и адгезионные слои в межкомпонентных структурах чипов
Электроды в запоминающих устройствах и датчиках
Металлизация затвора в транзисторах
Оптические и фотоэлектрические покрытия:
Анти-антибликовое и защитное покрытие линз
Слои прозрачного проводящего оксида (TCO) в тонкопленочных солнечных элементах
Декоративные и функциональные покрытия на очках и объективах фотоаппаратов.
Исследования и разработки:
Наиболее распространенная форма для систем лабораторного-масштаба из-за стандартизации.
Используется в университетских и промышленных лабораториях для исследований в области материаловедения.
Создание прототипов новых тонкопленочных устройств и покрытий
Покрытия медицинского оборудования:
Биосовместимые покрытия на имплантатах и хирургических инструментах.
Базовый слой для гидроксиапатитовых покрытий на ортопедических имплантатах.
Декоративные и функциональные покрытия:
Базовый материал для нитрида титана (TiN) и других цветных PVD-покрытий.
Износостойкие-покрытия режущих инструментов, форм и прецизионных компонентов
горячая этикетка : титановая круглая мишень, Китай титановые круглые мишени производители, поставщики, завод, Титановая круглая мишень, Титановая пластина в качестве мишени, титановая мишень, Титановая трубчатая мишень

